SuperView W3
SuperView WGroßes 3D-Weißlichtinterferometer mit Verfahrbereich 300 × 300 mm.
Ohne VertragsbindungKauf, Leasing & Mietkauf
Vorteile
- Großer Verfahrbereich 300 × 300 mm
- RMS Wiederholbarkeit 0,005 nm
- Für große Proben
Eckdaten
| Objekttisch-Größe | 450 × 450 mm |
|---|---|
| Verfahrbereich XY | 300 × 300 mm |
| Tragfähigkeit | 10 kg |
| Standard-Sichtfeld | 0,98 × 0,98 mm |
| Wiederholbarkeit Rauheit RMS | 0,005 nm |
| Genauigkeit Stufenmessung | 0,3 % |
| Abmessungen (L × B × H) | 1.000 × 900 × 1.500 mm |
| Gewicht | 630 kg |
Anwendungen
Große Proben, Wafer, Glassubstrate