VT 6100
VT 6000Kompaktes Konfokalmikroskop mit 100 × 100 mm XY-Verfahrbereich.
Ohne VertragsbindungKauf, Leasing & Mietkauf
Vorteile
- Wiederholgenauigkeit 12 nm (1σ)
- Genauigkeit ±(0,2+L/100) µm
- Kompakte Bauform
Eckdaten
| Sichtfeld | 120×120 µm – 2,4×2,4 mm |
|---|---|
| Wiederholgenauigkeit Stufe (1σ) | 12 nm |
| Genauigkeit Stufe | ±(0,2+L/100) µm |
| Anzeigeauflösung | 0,1 nm |
| Wiederholgenauigkeit Breite (1σ) | 40 nm |
| Genauigkeit Breite | ±2 % |
| Verfahrbereich XY | 100 × 100 mm |
| Z0-Scanbereich | 10 mm |
| Z-Verfahrbereich | 100 mm |
| Tragfähigkeit | 10 kg |
| Abmessungen (L × B × H) | 520 × 380 × 600 mm |
| Gewicht | 50 kg |
Anwendungen
Halbleiter, MEMS, Medizintechnik, Materialforschung